電子廠無塵車間的設(shè)計需從生產(chǎn)全流程出發(fā),構(gòu)建科學的功能體系。CEIDI西遞在為某高端芯片制造企業(yè)規(guī)劃無塵車間時,依據(jù)光刻、蝕刻、封裝等核心工藝的環(huán)境敏感性,將車間劃分為十萬級物料預(yù)處理區(qū)、萬級芯片加工區(qū)、千級封裝測試區(qū)等功能單元。各區(qū)域通過氣閘室、傳遞窗實現(xiàn)物理隔離,避免交叉污染;同時,運用 BIM 技術(shù)對設(shè)備布局、管道走向進行三維模擬,確保光刻機、蝕刻機等精密設(shè)備安裝位置精準,預(yù)留充足維護空間。在人流物流規(guī)劃上,設(shè)置獨立的人員更衣消毒通道與物料凈化傳遞路線,人員需經(jīng)過風淋室 360 度無死角吹掃,物料通過貨淋室紫外線消毒后,方可進入潔凈區(qū)。?
潔凈等級的精準定位是無塵車間設(shè)計的核心。根據(jù) ISO 14644 - 1國際標準及我國《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073,電子廠無塵車間潔凈度從 1 級到 100,000級不等,對每立方米空氣中不同粒徑塵埃粒子數(shù)量均有嚴格限定。例如,在Mini - LED顯示屏生產(chǎn)中,因芯片尺寸微小,需在百級潔凈環(huán)境下進行封裝,以防止 0.3μm 以上塵埃粒子附著導(dǎo)致短路;而常規(guī)消費電子組裝車間,萬級潔凈標準即可滿足生產(chǎn)需求。CEIDI西遞通過引入 CFD(計算流體力學)模擬技術(shù),對車間氣流組織進行仿真分析,優(yōu)化送風口、回風口布局,確保潔凈度達標。?
空氣凈化系統(tǒng)是維持無塵環(huán)境的關(guān)鍵。CEIDI西遞采用三級過濾 + 循環(huán)風系統(tǒng),初效過濾器攔截5μm 以上大顆粒,中效過濾器捕捉1 - 5μm粒子,高效過濾器(HEPA)對0.3μm 微粒過濾效率達99.99% 以上。在某智能終端制造車間項目中,通過設(shè)置 FFU(風機過濾單元)矩陣,實現(xiàn)垂直層流送風,配合高架地板回風系統(tǒng),使車間內(nèi)氣流均勻度達95%以上,有效抑制微塵懸浮。同時,溫濕度控制系統(tǒng)將車間溫度穩(wěn)定在 22±1℃,濕度控制在50±5% RH,既保障電子元件性能穩(wěn)定,又提升操作人員舒適度。?
裝修材料的選擇直接影響車間潔凈性能與使用壽命。墻面和吊頂采用1.2mm厚聚氨酯彩鋼板,板材表面粗糙度Ra≤0.8μm,拼接處采用雙圓弧結(jié)構(gòu),配合硅酮密封膠填縫,氣密性達到EN 1886 Class 3 級標準;地面根據(jù)生產(chǎn)需求定制,半導(dǎo)體車間采用防靜電 PVC 地板,系統(tǒng)電阻值維持在10? - 10?Ω,防止靜電擊穿芯片;常規(guī)組裝車間選用環(huán)氧自流平地坪,耐磨度達莫氏硬度6級以上。門窗采用雙層中空Low - E玻璃,搭配三元乙丙橡膠密封條,空氣滲透量<0.3m³/(㎡?h),有效阻隔外界污染。?
電氣與照明系統(tǒng)為生產(chǎn)提供穩(wěn)定保障。電氣系統(tǒng)按照設(shè)備總功率 130% 冗余設(shè)計,配備雙路市電 + 柴油發(fā)電機+ UPS不間斷電源的三重供電保障,確保光刻機等關(guān)鍵設(shè)備在突發(fā)斷電時仍能維持運行。照明采用定制化LED潔凈燈,照度均勻度>0.7,顯色指數(shù)Ra≥90,無眩光設(shè)計避免對操作人員視覺干擾;同時,燈具與天花板一體化安裝,杜絕積塵死角。?
施工環(huán)節(jié)嚴格遵循《通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范GB 50243、《建筑電氣工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB 50303等標準。CEIDI西遞建立全過程質(zhì)量管控體系,從材料進場的第三方檢測,到風管漏光檢測、高效過濾器掃描測試等分項驗收,再到竣工后的綜合性能檢測,確保塵埃粒子濃度、換氣次數(shù)、靜壓差等18項核心指標100%達標。通過動態(tài)監(jiān)測系統(tǒng),對車間溫濕度、潔凈度等參數(shù)進行24小時實時監(jiān)控,異常情況自動報警并觸發(fā)應(yīng)急調(diào)節(jié)機制。?
電子廠無塵車間設(shè)計是技術(shù)、規(guī)范與經(jīng)驗的有機結(jié)合。CEIDI西遞以專業(yè)視角,將行業(yè)規(guī)范轉(zhuǎn)化為可落地的解決方案,為電子制造企業(yè)打造高品質(zhì)無塵生產(chǎn)環(huán)境,助力我國電子產(chǎn)業(yè)向高端化、精密化邁進。