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電子潔凈廠房工程 CEIDI西遞

　　電子潔凈廠房是半導(dǎo)體、顯示面板、精密電子元件等產(chǎn)品生產(chǎn)的核心載體，需滿足 “低微粒、低振動、低電磁干擾、高潔凈穩(wěn)定” 的生產(chǎn)要求，建設(shè)需嚴(yán)格遵循《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》及國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)。CEIDI 西遞結(jié)合電子行業(yè) “工藝迭代快、潔凈等級差異大、系統(tǒng)聯(lián)動性強” 的特性，從潔凈等級適配、工藝布局優(yōu)化、關(guān)鍵系統(tǒng)設(shè)計等維度提供全流程工程服務(wù)，助力廠房實現(xiàn) “潔凈達(dá)標(biāo)、生產(chǎn)高效、運維便捷”。

　　電子潔凈廠房功能分區(qū)需以 “工藝流程連貫、潔凈等級梯度、污染隔離” 為原則，避免交叉污染與工藝干擾。核心生產(chǎn)區(qū)按潔凈等級劃分：千級潔凈區(qū)多用于半導(dǎo)體封裝測試、LCD模組組裝，需控制微粒濃度與溫濕度穩(wěn)定性;百級潔凈區(qū)適配芯片光刻、OLED蒸鍍等高精度工藝，需采用垂直層流或水平層流氣流組織;萬級 / 十萬級潔凈區(qū)作為輔助生產(chǎn)區(qū)，用于原料預(yù)處理、半成品暫存，需與核心區(qū)保持合理壓差。工藝布局需遵循 “原料→預(yù)處理→核心生產(chǎn)→檢測→成品” 單向動線，避免物料回流;產(chǎn)塵工序需設(shè)獨立負(fù)壓區(qū)，配備局部排風(fēng)系統(tǒng)，防止粉塵擴散至潔凈區(qū);輔助功能區(qū)需圍繞生產(chǎn)區(qū)布局，縮短物料與人員轉(zhuǎn)運距離，其中人員更衣區(qū)需設(shè) “一更→二更→風(fēng)淋→潔凈服穿戴” 多級潔凈過渡，確保人員進(jìn)入潔凈區(qū)前去除體表微粒。?

　　關(guān)鍵系統(tǒng)設(shè)計是電子潔凈廠房工程的核心，直接影響潔凈穩(wěn)定性與生產(chǎn)兼容性?？諝鈨艋到y(tǒng)需按潔凈等級定制：千級及以上潔凈區(qū)采用 “初效過濾 + 中效過濾 + 高效過濾 + 化學(xué)過濾” 四級過濾，百級潔凈區(qū)需疊加超高效過濾，且高效 / 超高效過濾器需安裝在送風(fēng)口末端，逐臺進(jìn)行檢漏測試;氣流組織方面，核心生產(chǎn)區(qū)采用垂直層流或水平層流，輔助區(qū)采用亂流，同時通過 CFD 氣流模擬優(yōu)化風(fēng)口布局，避免氣流死角。溫濕度控制系統(tǒng)需精準(zhǔn)適配工藝需求：半導(dǎo)體生產(chǎn)區(qū)控溫濕度，防止芯片因溫度波動產(chǎn)生熱應(yīng)力，避免靜電引發(fā)電路損傷;顯示面板生產(chǎn)區(qū)需根據(jù)不同工藝段調(diào)整參數(shù)，確保光刻精度。?

　　防微振與電磁兼容系統(tǒng)需滿足精密設(shè)備運行要求：地面做防微振處理，控制振動速度，避免振動影響芯片光刻精度;墻面與吊頂做電磁屏蔽處理，關(guān)鍵設(shè)備需單獨接地，防止電磁干擾導(dǎo)致設(shè)備故障或信號異常。高純物質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)需保障純度與穩(wěn)定性：高純氣體采用管道輸送，管道做防雜質(zhì)處理，焊接工藝確保密封性，避免雜質(zhì)引入;超純水系統(tǒng)需達(dá)到半導(dǎo)體級水質(zhì)，配備多介質(zhì)過濾、反滲透、離子交換等處理單元，滿足芯片清洗、光刻膠配制需求。?

　　安全與運維系統(tǒng)需兼顧生產(chǎn)保障與長期管理。消防系統(tǒng)按潔凈等級與工藝特性配置：潔凈區(qū)采用氣體滅火系統(tǒng)，避免水漬損壞精密設(shè)備;疏散通道寬度符合要求，設(shè)應(yīng)急照明與疏散指示，且所有消防設(shè)施需具備防塵、防腐特性。監(jiān)控與中控系統(tǒng)需實現(xiàn)全系統(tǒng)聯(lián)動：潔凈區(qū)設(shè)微粒濃度監(jiān)測儀、溫濕度傳感器、壓差傳感器，數(shù)據(jù)實時上傳中控平臺，異常時自動報警并聯(lián)動空調(diào)、排風(fēng)系統(tǒng)調(diào)整;設(shè)備運維系統(tǒng)需預(yù)留遠(yuǎn)程監(jiān)控接口，便于實時監(jiān)測設(shè)備運行狀態(tài)，制定預(yù)防性維護(hù)計劃。此外，廠房內(nèi)表面需做防微粒積聚處理，接縫做密封處理，減少清潔死角。?

　　CEIDI 西遞在電子潔凈廠房工程實施中，前期會深入拆解工藝需求，用 BIM 技術(shù)搭建廠房 3D 模型，模擬工藝布局、管線排布與系統(tǒng)聯(lián)動，提前規(guī)避設(shè)備與管線沖突、潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)壓差失衡等問題;施工階段嚴(yán)格把控施工精度，如潔凈區(qū)接縫密封效果控制、高純氣體管道焊接質(zhì)量檢測;交付前協(xié)助開展?jié)崈舳葯z測、溫濕度精度測試、防微振測試等，出具合規(guī)報告;后期還可根據(jù)工藝升級需求提供改造服務(wù)，助力電子企業(yè)持續(xù)滿足精密生產(chǎn)需求。

疾控機構(gòu)實驗室建設(shè) CEIDI西遞

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